一、引言

紅外(超)窄帶濾光片作為紅外分光計的窄帶與超窄帶通光學薄膜濾光器件，可應用于衛星遙感、光學分析儀器和環境測試等領域。為系統了解我國的研究狀況，本文對覆蓋不同電磁波段的(超)窄帶濾光片技術參數進行文獻檢索，對其應用進行了分類概括。

二、技術參數

中心波長、峰值透射率、透射峰半寬度、背景透過率、截止帶寬度和相對帶寬等是表征濾光片性能的重要光學參數。經文獻檢索，我國研制的系列紅外(超)窄帶濾光片性能參數如下表所示：

三、應用討論

1、光學分析與光學測距

基于光子晶體理論，采用一維摻雜異質結結構、從可見到紅外波段具有超寬截止帶，可應用于光學分析儀器。

采用光學玻璃為襯底，依次真空蒸鍍由低折射率的無序性膜層與高折射率的無序性膜層交替疊層多次組成的底層薄膜、由高折射率的無序性膜層與中間折射率的無序性膜層交替疊層多次組成的中間層薄膜和由高折射率的無序性膜層與中間折射率的無序性膜層交替疊層多次組成的頂層薄膜，以提高濾光片成品率和降低制備設備要求。

采用λ/4及其整數倍的膜層厚度，用ZnS高折射 率材料做中間層，用波長掃描法控制膜厚，主要用于激光測距。文獻10對18種膜系進行了理論計算，對其中9種進行了實驗，確定了三檔膜系，可應用于CO2激光測距，也可用于消除反坦克導彈輔助發動機煙霧中的紅外輻射。

2、環境監測

采用石英為基板，選用鍺和一氧化硅為鍍膜材料，在真空中蒸鍍干涉膜帶濾光片，適用于汽車尾氣監測。

以硅為基板，硒化紅外(超)窄帶濾光片鋅和碲化鉛膜層材料，在真空中蒸鍍制備干涉濾光片，適合于環境SO2監測、鋼鐵硫含量等分析。文獻9利用紅外光多次干涉四個共振腔原理，采用三種膜設計，可應用于紅外線汽車排氣分析。

3、綜合應用

采用白寶石為基板，硒化鋅和碲化鉛為膜層材料，在真空中蒸鍍制備干涉片，適合應用于環境、醫用、化肥和鋼鐵碳含量等的分析儀器。

以三氧化二鋁為基板，在基板兩個面上交替真空蒸鍍多層硒化鋅膜層和碲化鉛膜層，適合化工、環保、煤礦和醫學等領域監測微量一氧化碳氣體。

采用新穎結構實現了濾光片的特殊半寬度、超低背景透過率要求，可用于國防工程，還可廣泛用于環境監測、氣體分析、醫療儀器等領域。